Линейный пьезоэлектрический двигатель / со встроенной электроникой

  • Производитель:
  • Артикул:
    11537
  • Артикул:
    N-111 NEXLINE® series
  • Движение:
    линейный
  • Другие характеристики:
    со встроенной электроникой
  • Производитель:
    Physik Instrumente
  • Сила (N):
    50 / 70
  • Показать все характеристики
Цену уточняйте
Прямые поставки от производителей

Описание

Диапазон перемещения 10 мм
Встроенный датчик линейного перемещения с прямым измерением с разрешением 5 нм
Генерация усилия до 50 Н
Усилие удержания до 70 Н
Области применения
Промышленная точность позиционирования
Полупроводниковая технология
Испытания полупроводников
Инспекция пластин
Литография
Наноимпринтинг
Нанометрология
Движение в сильных магнитных полях и вакууме
Высокоточное измерение положения с помощью инкрементного датчика положения
Бесконтактные оптические энкодеры измеряют положение непосредственно на платформе с максимальной точностью. Нелинейность, механический люфт или упругая деформация не влияют на измерение.

Характеристики

Характеристики
Артикул N-111 NEXLINE® series
Движение линейный
Другие характеристики со встроенной электроникой
Производитель Physik Instrumente
Сила (N) 50 / 70
Скорость (m/s) 0,0004 / 0,001
Ход (mm) 10

ПОХОЖИЕ ТОВАРЫ