Особенности Механизм прямой подачи для высокоскоростной и высокоточный располагать. Недостаток помощи силы магнитной привлекательности расширить жизнь линейного движения направляет и уменьшает шум. Нул cogging для минимальной пульсации силы. Примеры применения Фидеры и затяжелители Оборудование полупроводника Технологическое оборудование LCD
