Инкрементальный линейный энкодер / оптический / бесконтактный / высокая скорость

Высокоскоростно и high-resolution, пока поддерживающ конюшню, измерять ultraprecision. Ideal для этапов точности, осмотра полупроводника/систем производств, и машин ultraprecision обрабатывая.

* High-resolution маштаб при длина волны сигнала approx138nm, делая системы лучше интерферометра световой волны
* Высокие стабилность, без изменений влажностью, воздушным давлением и помехами воздуха
* Точность контрольной точки: ±0.1μm
* Точность маштаба: ±0.04μm или улучшают (измеряя длина: 40 mm)
* Вполне внеконтактная ошибка возвращения конструкции фактически исключена.
* Специальные немагнитные и вакуум-совместимые имеющиеся модели
* Используя низкое стекло расширения: ℃ -0.7 x 10-6/(измеряя длина: 10 до 420 mm)